每一个处理工具必须有确定的维夫饼干流量的目标。 这个数字是在工具和自动化的性能需求里理解被要求的寝室的每种类型的数量的基础。 处理工具的电化学的维夫饼干经常用几类不同的寝室成形支持一个处理序列。适合电化学免职的各种各样金属除这不同反应堆类型以外(例如，铜币，黄金，铂，镍，镍铁， 并且焊接合金)， 有适合处理(预调整，预弄湿)和处理(冲洗/干，边缘倾斜蚀刻，并且退火)的盘子后的预盘子的寝室。 因为给处理顺序，处理时间过程一个人走建立给维夫饼干流量的阻塞。 如果一种规定的类型的单人的寝室不提供被要求的流量， 另外寝室可能与影响与其他潜在流量阻塞在过程顺序内的考虑一起增加。 与模拟数据相比较1 图显示一铜币免职工具与6 ECD寝室和4 过程后寝室一起的性能。 清楚的两不同的政体，代表不同的限制流量的行动，被超过免职的这特别的范围证明