最早追溯到战国末期荀子的《正名篇》。
中国古代科学技术十分发达，术语工作具有悠久的历史。旬子的《正名篇》是有关语言理论的著作，其中很多论点都与术语问题有关。汉唐时期的佛典翻译吸收了大量梵文的佛教术语。
据不完全统计，1949年以前***出版160多种术语集，最早的几种是《中外病名对照录》(1909)、《英汉汉英军语词汇》(1911)、《英汉商业用语手册》(1913)、《华、德、英、法铁路词典》(1916)、《船学名词表》(1916)。中华人民***和国建立后到1983年上半年，***出版760多种（其中大陆出版的约占660种）。