这里的“等至”是“禅定”的意思，不是过程。在定中，身心平等安和谓之“等”，定能令至此平等位，故名为“等至”。
“为令入等至，制惑而精进。”的意思是：为了进入禅定的状态，需要降伏自己的妄念而精进修行。
参考资料：
1、《法相辞典》(朱芾煌编)：等至，梵名“三摩钵底”，此云等至，乃定之别名。
2、佛学大辞典(丁福保 编)：等至，定之别名。梵名三摩钵底。在定中，身心平等安和谓之等，定能令至平等位，故叫做等至。心住定，心住静虑。
3、《佛学常见辞汇》(陈义孝 编)：梵语三摩钵底，华言等至。谓能修此定，正受现前，大发光明，庆快殊胜，处染不染，无有退转也。
4、《藏传佛教辞典》(中华佛典宝库编)：等至，定的别名。身心平等安祥叫做等，要以定力才能达到这种“等”的境界，所以叫做“等至”。